深圳奕帆科技固定式無(wú)線氙氣在線監(jiān)測(cè)儀，深度適配半導(dǎo)體晶圓、芯片蝕刻、薄膜沉積、光電元器件制造產(chǎn)線，針對(duì)高純氙氣工藝配比、管道微量泄漏、潔凈車(chē)間稀有氣體管控研發(fā)，是電子制造行業(yè)氙氣濃度精準(zhǔn)管控專(zhuān)用監(jiān)測(cè)設(shè)備。

半導(dǎo)體制造工序大量使用高純氙氣作為工藝載氣，管道微小泄漏不僅會(huì)造成高純氙氣原料大量損耗，泄漏積聚還會(huì)導(dǎo)致車(chē)間氧氣含量下降，引發(fā)作業(yè)人員缺氧窒息風(fēng)險(xiǎn)，傳統(tǒng)有線檢測(cè)儀布線會(huì)破壞潔凈車(chē)間無(wú)塵環(huán)境，增加潔凈區(qū)改造成本。奕帆無(wú)線款氙氣檢測(cè)儀解決以上痛點(diǎn)，搭載 WiFi 無(wú)線傳輸模塊，可接入車(chē)間潔凈區(qū)內(nèi)網(wǎng)，無(wú)需鋪設(shè)信號(hào)電纜，不破壞無(wú)塵車(chē)間地面、吊頂潔凈層，壁掛式輕薄機(jī)身設(shè)計(jì)，不占用產(chǎn)線操作空間，適配潔凈廠房嚴(yán)苛安裝要求。

設(shè)備核心搭載進(jìn)口超高精度熱導(dǎo)式氙氣專(zhuān)用傳感器，經(jīng)過(guò)高純惰性氣體專(zhuān)項(xiàng)算法校準(zhǔn)，可精準(zhǔn)區(qū)分氙氣、氬氣、氪氣、氦氣等多種稀有氣體，無(wú)交叉干擾，適配半導(dǎo)體車(chē)間多種混合稀有氣體工藝環(huán)境；量程覆蓋微量 0-1% VOL 高純配比監(jiān)測(cè)至 0-100% VOL 純度檢測(cè)，測(cè)量精度≤±0.3% FS，分辨率可達(dá) 0.001% VOL，精準(zhǔn)把控晶圓工藝氙氣配比精度，微量管道泄漏實(shí)時(shí)捕捉，避免因氣體配比失衡造成晶圓批量報(bào)廢，降低企業(yè)原材料損耗與生產(chǎn)損失。

整機(jī)外殼采用輕量化不銹鋼潔凈殼體，光滑表面，便于無(wú)塵車(chē)間酒精擦拭清潔，IP66 防塵防水防護(hù)等級(jí)，可抵御潔凈車(chē)間循環(huán)水汽、輕微化學(xué)揮發(fā)物腐蝕；內(nèi)部電路搭載多級(jí)濾波抗干擾模塊，抵御半導(dǎo)體車(chē)間高頻設(shè)備電磁干擾，保障長(zhǎng)期監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)穩(wěn)定不漂移。

供電采用 24V 直流工業(yè)供電 + 內(nèi)置備用鋰電池雙模式，斷電后鋰電池可持續(xù)監(jiān)測(cè) 72 小時(shí)以上，保障產(chǎn)線不間斷監(jiān)測(cè)；超低功耗 WiFi 無(wú)線傳輸，數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)同步上傳至車(chē)間 MES 生產(chǎn)管理系統(tǒng)、奕帆云端監(jiān)測(cè)平臺(tái)，生產(chǎn)管理人員中控電腦、辦公室手機(jī)可實(shí)時(shí)查看各晶圓機(jī)臺(tái)氙氣實(shí)時(shí)濃度、24 小時(shí)濃度變化曲線、歷史報(bào)警記錄，實(shí)現(xiàn)工藝氣體數(shù)據(jù)可視化管控。

2.5 寸高清無(wú)塵專(zhuān)用顯示屏，無(wú)反光防眩光屏幕，潔凈車(chē)間強(qiáng)光照明下數(shù)值清晰可見(jiàn)，屏幕同步顯示氙氣濃度、車(chē)間溫濕度、傳感器工作狀態(tài)、設(shè)備網(wǎng)絡(luò)連接狀態(tài)；設(shè)備支持多級(jí)報(bào)警閾值自定義設(shè)置，分為預(yù)警、二級(jí)報(bào)警、緊急泄漏三級(jí)提醒，超標(biāo)后現(xiàn)場(chǎng)聲光報(bào)警，同時(shí)無(wú)線推送報(bào)警信息至車(chē)間中控、管理人員手機(jī)，同步聯(lián)動(dòng)產(chǎn)線氣體緊急切斷閥、潔凈區(qū)排風(fēng)系統(tǒng)，自動(dòng)啟動(dòng)應(yīng)急通風(fēng)、切斷氙氣氣源，快速控制泄漏險(xiǎn)情。

模塊化可插拔傳感模組，潔凈車(chē)間維護(hù)無(wú)需整機(jī)拆卸，30 秒快速更換傳感器，配套紅外遙控器，無(wú)需開(kāi)蓋即可遠(yuǎn)程完成零點(diǎn)校準(zhǔn)、報(bào)警參數(shù)調(diào)整，避免頻繁拆機(jī)破壞無(wú)塵車(chē)間潔凈度。設(shè)備內(nèi)置本地?cái)?shù)據(jù)存儲(chǔ)，完整保存全年工藝監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)，支持導(dǎo)出標(biāo)準(zhǔn)報(bào)表，用于半導(dǎo)體工廠工藝質(zhì)控、環(huán)保安全臺(tái)賬歸檔。

適配半導(dǎo)體晶圓蝕刻車(chē)間、光電燈管制造、芯片實(shí)驗(yàn)室、高純氙氣配比車(chē)間，奕帆高純氙氣工藝配比監(jiān)測(cè)氙氣檢測(cè)儀廠家，支持量程、通信模塊、潔凈外殼定制，可提供半導(dǎo)體行業(yè)配套技術(shù)方案年度計(jì)量校準(zhǔn)一站式服務(wù)。

奕帆高純氙氣工藝配比監(jiān)測(cè)氙氣檢測(cè)儀廠家