深圳奕帆科技法蘭固定式氪氣檢測(cè)儀，專(zhuān)為半導(dǎo)體芯片制造、晶圓蝕刻工藝管道研發(fā)，標(biāo)準(zhǔn) DN80 法蘭一體式安裝設(shè)計(jì)，適配高純氪氣載氣輸送管道法蘭點(diǎn)位實(shí)時(shí)泄漏監(jiān)測(cè)，針對(duì)半導(dǎo)體潔凈車(chē)間無(wú)塵、防爆、高精度監(jiān)測(cè)需求打造，是微電子行業(yè)稀有氣體安全監(jiān)測(cè)專(zhuān)用儀表。

半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)氪氣作為蝕刻、離子注入核心載氣，管道法蘭密封處極易發(fā)生微量泄漏，氪氣屬于惰性窒息性氣體，密閉潔凈車(chē)間泄漏會(huì)造成操作人員缺氧昏迷，同時(shí)高純氪氣單價(jià)高昂，微量泄漏將帶來(lái)巨大生產(chǎn)成本損耗。奕帆法蘭固定式氪氣檢測(cè)儀采用法蘭直裝式結(jié)構(gòu)，直接固定在輸送管道法蘭端面，氣室與管道內(nèi)部連通，無(wú)氣體采樣延遲，實(shí)時(shí)捕捉管道內(nèi)部氪氣濃度變化，杜絕監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)滯后問(wèn)題。

核心傳感單元選用軍工級(jí)紅外氪氣傳感器，針對(duì)半導(dǎo)體高純低雜質(zhì)工況優(yōu)化算法，過(guò)濾氮?dú)狻鍤?、氧氣等背景氣體干擾，測(cè)量精度≤±1.5% FS，檢出限 0.01ppm，可精準(zhǔn)識(shí)別 ppb 級(jí)微量氪氣泄漏；設(shè)備內(nèi)置高精度恒溫氣室，隔絕潔凈車(chē)間溫濕度波動(dòng)對(duì)檢測(cè)數(shù)值的干擾，長(zhǎng)期連續(xù)運(yùn)行零點(diǎn)漂移極小，無(wú)需頻繁現(xiàn)場(chǎng)校準(zhǔn)，適配半導(dǎo)體工廠全年無(wú)休生產(chǎn)模式。

機(jī)身采用 316L 不銹鋼法蘭 + 防爆鋁合金主機(jī)分體結(jié)構(gòu)，法蘭接觸面鏡面拋光處理，搭配 PTFE 耐腐蝕密封墊，耐半導(dǎo)體工藝特種腐蝕氣體、高純介質(zhì)腐蝕，承壓最高 2.5MPa，適配高壓氪氣輸送管道；整機(jī)防爆認(rèn)證 Ex d IIC T6，滿(mǎn)足半導(dǎo)體防爆潔凈車(chē)間 1 區(qū)、2 區(qū)危險(xiǎn)區(qū)域安裝標(biāo)準(zhǔn)，IP67 全密封防護(hù)，阻擋無(wú)塵車(chē)間超細(xì)粉塵、清洗水汽侵入設(shè)備內(nèi)部。

操作交互配備 4 寸高清工業(yè)液晶屏，全中文操作界面，實(shí)時(shí)顯示氪氣實(shí)時(shí)濃度、管道壓力、設(shè)備運(yùn)行溫度、高低報(bào)警閾值；支持三級(jí)報(bào)警閾值自由設(shè)定（預(yù)警、低報(bào)、高報(bào)），一體化聲光報(bào)警裝置安裝于設(shè)備側(cè)面，不占用法蘭安裝空間，車(chē)間遠(yuǎn)距離清晰識(shí)別報(bào)警信號(hào)。通訊接口支持 RS485 無(wú)線遠(yuǎn)傳、4-20mA 有線信號(hào)輸出，可對(duì)接半導(dǎo)體工廠 MES 生產(chǎn)管理系統(tǒng)、環(huán)保廢氣在線監(jiān)測(cè)平臺(tái)，自動(dòng)存儲(chǔ)歷史濃度數(shù)據(jù)，支持?jǐn)?shù)據(jù)本地緩存、云端上傳，便于企業(yè)環(huán)保臺(tái)賬留存、生產(chǎn)工藝數(shù)據(jù)分析。

維護(hù)設(shè)計(jì)人性化，配套紅外遙控調(diào)試工具，現(xiàn)場(chǎng)免開(kāi)蓋完成零點(diǎn)校準(zhǔn)、量程修正、報(bào)警參數(shù)修改；模塊化傳感器組件，單人快速拆卸更換，無(wú)需整臺(tái)設(shè)備拆機(jī)，大幅降低停機(jī)維護(hù)時(shí)長(zhǎng)，不影響半導(dǎo)體產(chǎn)線連續(xù)生產(chǎn)。奕帆半導(dǎo)體晶圓制造管道氪氣檢測(cè)儀廠家，支持法蘭規(guī)格（DN50/DN80/DN100）、檢測(cè)量程、通訊功能定制，提供完整出廠資質(zhì)文件、上門(mén)技術(shù)培訓(xùn)、全年免費(fèi)線上技術(shù)支持，是半導(dǎo)體晶圓廠氪氣管道法蘭泄漏監(jiān)測(cè)優(yōu)選設(shè)備。

奕帆半導(dǎo)體晶圓制造管道氪氣檢測(cè)儀廠家