奕帆半導(dǎo)體芯片制造車間專用氪氣檢測儀廠家銀色固定式氪氣檢測儀，專為半導(dǎo)體晶圓、芯片封裝車間打造 24 小時(shí)不間斷氪氣在線監(jiān)測設(shè)備，整機(jī)通體銀色壓鑄鋁合金防爆外殼，表面抗靜電噴涂工藝，適配無塵車間、高純載氣輸送管路監(jiān)測場景，防爆 Ex d IIC T6、IP66 防塵防水防護(hù)，可長期穩(wěn)定運(yùn)行于恒溫恒濕潔凈車間，不受潔凈車間循環(huán)風(fēng)、微量化學(xué)溶劑蒸汽干擾，監(jiān)測數(shù)據(jù)穩(wěn)定無漂移。

設(shè)備搭載定制化氪氣紅外傳感模組，針對半導(dǎo)體行業(yè)高純氪氣微量泄漏監(jiān)測優(yōu)化算法，可精準(zhǔn)識別管道焊縫、閥門接頭、腔體密封處 ppm 級氪氣逸散，測量線性誤差≤±2% FS，杜絕微量惰性氣體泄漏污染晶圓生產(chǎn)環(huán)境，避免高價(jià)值芯片批量報(bào)廢，同時(shí)規(guī)避密閉潔凈車間氪氣積聚造成作業(yè)人員缺氧窒息安全事故。

設(shè)備內(nèi)置工業(yè)智能 MCU 處理器，支持實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)本地存儲(chǔ)、云端同步，RS485 標(biāo)準(zhǔn) Modbus 通訊協(xié)議可無縫對接工廠 PLC、DCS 中控系統(tǒng)、環(huán)保在線監(jiān)管云平臺(tái)，手機(jī)、電腦端可隨時(shí)隨地查看車間各點(diǎn)位氪氣實(shí)時(shí)濃度、歷史趨勢曲線、超標(biāo)報(bào)警記錄，所有監(jiān)測數(shù)據(jù)自動(dòng)保存，滿足環(huán)保在線長期數(shù)據(jù)留存、環(huán)保核查溯源需求。

機(jī)身正面高清背光液晶屏，車間強(qiáng)光、暗光環(huán)境下數(shù)值清晰可讀，配套一體化銀色聲光報(bào)警裝置，三級報(bào)警閾值可根據(jù)半導(dǎo)體車間安全規(guī)范自定義調(diào)節(jié)，一旦氪氣濃度超標(biāo)，立刻高分貝蜂鳴 + 紅色爆閃燈光雙重警示，設(shè)備內(nèi)置兩路無源繼電器輸出，可聯(lián)動(dòng)車間潔凈區(qū)排風(fēng)系統(tǒng)、載氣輸送管道緊急切斷閥門，實(shí)現(xiàn)泄漏風(fēng)險(xiǎn)自動(dòng)化防控。整機(jī)采用模塊化分體結(jié)構(gòu)，傳感器、氣室、主控電路獨(dú)立模組化，無塵車間維護(hù)無需拆機(jī)布線，單人快速完成傳感器更換、設(shè)備校準(zhǔn)，原廠配套紅外無線遙控器，設(shè)備安裝后無需打開防爆外殼，遠(yuǎn)程一鍵完成零點(diǎn)校準(zhǔn)、量程標(biāo)定，大幅降低半導(dǎo)體車間設(shè)備運(yùn)維對無塵潔凈環(huán)境的破壞風(fēng)險(xiǎn)。

設(shè)備支持壁掛式垂直安裝、管道抱箍側(cè)向安裝兩種部署方案，銀色極簡工業(yè)外觀，適配半導(dǎo)體車間潔凈設(shè)備整體視覺風(fēng)格，全套防爆安裝支架、密封接頭、標(biāo)定工具隨貨配套，整機(jī)提供 365 天超長質(zhì)保，原廠工程師調(diào)試指導(dǎo)，符合環(huán)保在線精密制造行業(yè)氣體監(jiān)測設(shè)備入駐標(biāo)準(zhǔn)，是半導(dǎo)體工廠潔凈車間氪氣安全監(jiān)測、環(huán)保在線數(shù)據(jù)上報(bào)的在線檢測設(shè)備。

奕帆半導(dǎo)體芯片制造車間專用氪氣檢測儀廠家