深圳奕帆科技手提款甲基硅氧烷檢測(cè)儀，是半導(dǎo)體晶圓廠(chǎng)房、光電潔凈車(chē)間便攜式監(jiān)測(cè)設(shè)備。潔凈環(huán)境內(nèi)微量甲基硅氧烷會(huì)附著在光學(xué)鏡頭、晶圓表面，引發(fā)光刻缺陷、產(chǎn)品良率下降，是芯片制造、光學(xué)生產(chǎn)行業(yè)重點(diǎn)管控污染物。傳統(tǒng)實(shí)驗(yàn)室送檢時(shí)效性差，奕帆手提檢測(cè)儀支持現(xiàn)場(chǎng)快速取樣分析，實(shí)時(shí)獲取潔凈區(qū)域硅氧烷濃度，保障產(chǎn)線(xiàn)工藝環(huán)境穩(wěn)定。

設(shè)備選用低檢出限傳感模組，能夠捕捉 ppb 級(jí)別微量甲基硅氧烷污染，適配潔凈車(chē)間嚴(yán)苛監(jiān)測(cè)標(biāo)準(zhǔn)。內(nèi)置精密恒定流量采樣泵，氣流穩(wěn)定，避免流速波動(dòng)帶來(lái)測(cè)量誤差；氣路采用低吸附材質(zhì)，減少硅氧烷吸附殘留，保證檢測(cè)結(jié)果真實(shí)有效。整機(jī)輕量化手提設(shè)計(jì)，方便巡檢人員在潔凈走廊、光刻區(qū)域、新風(fēng)系統(tǒng)出風(fēng)口巡回監(jiān)測(cè)，快速定位污染源，排查新風(fēng)、密封膠、消泡劑等潛在硅氧烷釋放源。

儀器實(shí)時(shí)顯示濃度數(shù)值、實(shí)時(shí)變化曲線(xiàn)，支持最大值、最小值、平均值自動(dòng)統(tǒng)計(jì)，方便工作人員對(duì)比不同區(qū)域污染水平。海量本地存儲(chǔ)，檢測(cè)數(shù)據(jù)附帶時(shí)間、溫濕度信息，導(dǎo)出后可用于潔凈環(huán)境趨勢(shì)分析、產(chǎn)線(xiàn)環(huán)境評(píng)估。搭載三級(jí)報(bào)警功能，一旦濃度超標(biāo)及時(shí)提醒運(yùn)維人員開(kāi)展污染源管控與通風(fēng)凈化。

外殼防靜電，適配潔凈車(chē)間使用規(guī)范，可拆卸前置過(guò)濾器阻擋粉塵進(jìn)入氣路。大容量鋰電池長(zhǎng)續(xù)航，支持全天多點(diǎn)位巡檢。奕帆電子潔凈廠(chǎng)房手提硅氧烷報(bào)警器廠(chǎng)家可根據(jù)潔凈廠(chǎng)房管控指標(biāo)定制檢測(cè)量程，選配長(zhǎng)距離采樣軟管，檢測(cè)新風(fēng)管道內(nèi)部氣體。廣泛用于半導(dǎo)體工廠(chǎng)日常環(huán)境巡檢、凈化設(shè)備效果驗(yàn)證、新建潔凈車(chē)間驗(yàn)收、第三方潔凈環(huán)境檢測(cè)，有效防范甲基硅氧烷污染造成的生產(chǎn)損失。

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